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數(shù)字式質(zhì)量流量控制器采用熱敏傳感器和數(shù)字化控制技術(shù)

更新時間:2023-07-31   點擊次數(shù):1002次
  數(shù)字式質(zhì)量流量控制器(DigitalMassFlowController)是一種先進的流量控制裝置,用于準確測量和控制氣體的質(zhì)量流量。基于熱式質(zhì)量流量傳感器的工作原理,通過測量氣體傳感器中的熱敏電阻溫度變化來確定氣體的流量,并通過控制閥門的開度來調(diào)節(jié)氣體的流量。
  

 

  其工作過程如下:
  
  1.測量:氣體通過質(zhì)量流量傳感器時,流經(jīng)敏感器的熱線,并帶走熱量。熱線上的熱敏電阻會隨著流過的氣體質(zhì)量流量的變化而改變溫度。
  
  2.傳感:質(zhì)量流量傳感器通過測量熱敏電阻的溫度來得到氣體的質(zhì)量流量信息。
  
  3.反饋:將測量得到的氣體質(zhì)量流量信息與設(shè)定值進行比較,得出誤差信號。
  
  4.控制:根據(jù)誤差信號,控制閥門的開度來調(diào)整氣體的流量,使其逐漸接近設(shè)定值。
  
  數(shù)字式質(zhì)量流量控制器通常由以下幾個主要組件組成:
  
  1.質(zhì)量流量傳感器:用于測量氣體的質(zhì)量流量。傳感器通常采用熱敏電阻或熱膜等材料來感應(yīng)氣體的溫度變化,并將其轉(zhuǎn)換為電信號。
  
  2.控制電路:負責對傳感器測得的氣體質(zhì)量流量進行放大、濾波和線性化處理,同時將控制信號傳遞給閥門驅(qū)動器。
  
  3.閥門驅(qū)動器:根據(jù)控制電路的信號,控制閥門的開度來調(diào)節(jié)氣體的流量。驅(qū)動器通常采用步進電機或伺服電機等機械裝置。
  
  4.顯示與操作界面:用于顯示當前的流量數(shù)值和設(shè)定值,并提供用戶可調(diào)整的操作界面,如旋鈕、鍵盤或觸摸屏。
  
  5.電源與通信接口:為質(zhì)量流量控制器提供工作電源,并支持與計算機或其他設(shè)備進行通信,實現(xiàn)數(shù)據(jù)的記錄與遠程監(jiān)控。
  
  相比傳統(tǒng)的流量控制裝置具有以下特點:
  
  1.高精度:采用熱敏傳感器和數(shù)字化控制技術(shù),能夠?qū)崿F(xiàn)對氣體質(zhì)量流量的高精度測量和控制。
  
  2.快速響應(yīng):數(shù)字式控制系統(tǒng)能夠?qū)崟r監(jiān)測和調(diào)節(jié)氣體流量,實現(xiàn)快速、準確的響應(yīng)。
  
  3.寬測量范圍:可提供多種規(guī)格和型號,適用于不同范圍的氣體質(zhì)量流量測量和控制。
  
  4.穩(wěn)定性好:采用先進的控制算法和閥門驅(qū)動技術(shù),能夠?qū)崿F(xiàn)穩(wěn)定性好、抗干擾能力強的氣體流量控制。
  
  5.方便操作:具備用戶友好的顯示與操作界面,可通過旋鈕、鍵盤或觸摸屏等方式進行參數(shù)設(shè)定和操作。
  
  6.多種通信接口:支持多種通信協(xié)議和接口,實現(xiàn)與計算機、PLC等設(shè)備的連接和數(shù)據(jù)傳輸。
  
  應(yīng)用領(lǐng)域:
  
  1.半導(dǎo)體制造:用于氣體流量控制和調(diào)節(jié),在半導(dǎo)體工藝中的氣相沉積、化學氣相沉積等過程中保證流量的精確控制。
  
  2.光伏工業(yè):用于太陽能電池片制造中的各個工藝步驟,如清洗、濺射蒸發(fā)、薄膜沉積等,確保氣體流量的準確控制。
  
  3.制藥工業(yè):用于藥品生產(chǎn)過程中的微量氣體搬運、藥液噴霧干燥等環(huán)節(jié),保證藥品質(zhì)量和生產(chǎn)效果。
  
  4.實驗室研究:用于科研領(lǐng)域的實驗室,如化學、物理、生物等實驗中對氣體流量的測量和控制。
  
  5.其他工業(yè)領(lǐng)域:包括食品加工、環(huán)保治理、氣體分析等行業(yè),都需要對氣體流量進行精確測量和控制。
  
  數(shù)字式質(zhì)量流量控制器是一種先進的流量控制裝置,采用熱敏傳感器和數(shù)字化控制技術(shù),能夠?qū)崿F(xiàn)對氣體質(zhì)量流量的高精度測量和控制。其結(jié)構(gòu)組成包括質(zhì)量流量傳感器、控制電路、閥門驅(qū)動器、顯示與操作界面以及電源與通信接口等。具有高精度、快速響應(yīng)、寬測量范圍、穩(wěn)定性好、方便操作和多種通信接口等特點。廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、光伏工業(yè)、制藥工業(yè)、實驗室研究和其他工業(yè)領(lǐng)域,為各行各業(yè)的生產(chǎn)和研究提供了準確可靠的氣體流量控制解決方案。

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